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読売12/07 19:34 世界最小ミクロン単位の「ワイングラス」　

1.キイワード；ナノテクノロジー

2.関係者；ＮＥＣとセイコーインスツルメンツ、姫路工大

3.概要；ＮＥＣとセイコーインスツルメンツ、姫路工大は七日、「ナノメートル」（十億分の一メートル＝百万分の一ミリメートル）サイズの極めて小さな物体を自在に作ることのできる超微細加工技術を共同開発したと発表し、その技術で作った世界最小の“ワイングラス”を公開した。“グラス”は、高さ１２ミクロン（０・０１２ミリメートル）、直径２・７５ミクロン（０・００２７ミリメートル）で、普通のワイングラスの約二万分の一の大きさしかない。新技術は、半導体の加工技術の精度向上や、医療・バイオテクノロジー向けの小型機器の開発に役立てる目的だ。この技術を活用すれば、電子部品などに使用可能な金属並みの強度を持つ超小型コイルやパイプが作れることも確認した。基本的な原理は、炭素系原料を含むガスに極細のビームを垂直に当て、基板の上に微量の炭素粒子をたい積させて物体を作るという。[2000-12-07-19:34]

朝日12/07 20:27 ◇超精密技術で２万分の１のワイングラス作製　ＮＥＣなど◇

　ＮＥＣと姫路工業大学、セイコーインスツルメンツは７日、１００ナノメートル（１ナノメートルは１ミリの１００万分の１）以下の世界で、３次元の構造体を自由に造れる技術の開発に成功した、と発表した。こうしたナノテクノロジーは超精密技術として注目を集めており、ＮＥＣなどは試作品として、通常のサイズの約２万分の１という外径が２．７５マイクロメートル（１マイクロメートルは１ミリの１０００分の１）のワイングラスを作った。真空中にシリコン基板を置き、材料の成分を含むガスを注入すると、分解されたガスが基板の上に付着する。そこにイオンビームと呼ばれる特殊な粒子線を照射すると、粒子線の位置に沿って分解されたガスが移動し、構造物が形成される。コンピューター制御で光線の走査方向を細かく規定することで、精巧な立体物を作り上げることに成功した。最少分解能力は８０ナノメートルを持つ。

　ワイングラスの試作品はカーボンでできているが、ガスの成分を変えれば、ガラスでの作製も可能だ。ＮＥＣなどはコイルやパイプなども試作しており、超微細な半導体の開発などに道を開きそうだ。[2000-12-07-20:27]