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毎日10/24 02:01 <日本の中の世界一>信越化学のシリコン・ウエハー

1.キイワード;シリコン・ウエハー

2.関係者;信越化学

3.概要;ICやLSIなどの半導体は、昔、火打ち石として使われた「けい石」から生まれる。石からケイ素を取り出して作る高純度の結晶の塊を薄くスライスし、回路を写真のように焼き付ける。信越化学工業グループは、このスライス状のケイ素の板「シリコン・ウェハー」で、世界一25%のシェアを握っている。石灰石を原料にした石灰窒素肥料メーカーとして、1926年に創業した同社が、ウェハーを手がけたのは60年代。しかし、半導体が「産業のコメ」と呼ばれるのは後のことで、当時は海のものとも山のものともの時代。岡田副社長は「いつまで事業継続できるかさえ不安だった」という。

 米ダウコーニング社と合弁で信越半導体を67年に設立して米国向け生産を始め、「ノウハウを蓄積」(岡田副社長)しながら、基盤を固めていった。最大の強みは、単結晶製造や研磨で要求される熟練した「職人の技」だった。ウェハーは、「世界で量産している製品の中で、最も平らなモノだ」(岡田理副社長)。東京ドームのグラウンドにたとえると、凸凹が0・1ミリを超えても「不合格」になる。半導体需要が増すにつれ、「1枚のウエハーからより多くの半導体を生産したい」という要請が高まり、ウエハーの口径は1、6、8、12インチと拡大した。研磨はもちろん、重量がかさんで、高純物の単結晶シリコン製造も加速度的に難しい。他社の事業撤退が相次ぐ中、難関をクリアできたのは「技」の蓄積だった。製造が自動化された今も、熟練工の技術や経験を数値化し、ソフトに組み込んである。製造装置の生産を自ら手がけるのも、「技」を「門外不出」にするためだ。岡田副社長は「情報家電の発展などで半導体需要は拡大していく」と語り、結晶の重さが約400キロにもなる次世代の16インチウエハーでも主導権を握る意気込みだ。 【古田 信二】[2000-10-24-02:01]